上海2015年3月13日電 /美通社/ -- 2015年1月，盛美半導(dǎo)體再次獲得海力士（SK Hynix）三臺8腔體單片清洗機訂單，使得該公司目前銷售到海力士大生產(chǎn)線上的設(shè)備數(shù)量累計已達7臺。
盛美半導(dǎo)體的首席執(zhí)行官王暉談到：“得到海力士的批量重復(fù)訂單，標(biāo)志著盛美半導(dǎo)體的300mm單片清洗機在產(chǎn)品良率提升上有突出表現(xiàn)，機臺性能及穩(wěn)定性等各方面已經(jīng)能夠全面滿足國際主流大生產(chǎn)線22nm技術(shù)節(jié)點的嚴(yán)格要求。”
海力士在生產(chǎn)集成電路過程中，薄膜沉積（Si3N4,Oxide,Carbon..）后、CMP后、Barrier Metal 沉積前、深孔蝕刻后等多個工藝流程都需要進行清洗。上述3臺配備了盛美半導(dǎo)體獨家專利技術(shù)“空間交變相位移兆聲波技術(shù)”的設(shè)備，通過配合適當(dāng)?shù)幕瘜W(xué)藥液（如SC-1， H2-功能水等），可在微小顆粒（小于65nm）去除，化學(xué)氧化層控制以及深孔清洗等工藝表現(xiàn)上優(yōu)于國際市場上美國, 日本主流設(shè)備商的單片清洗機。
海力士在2011年被韓國的SK集團收購，是世界第二大DRAM（最常見的一種系統(tǒng)內(nèi)存）制造商，公司規(guī)模在整個半導(dǎo)體行業(yè)名列第四位。
